Cechy konstrukcyjne wielochipowego urządzenia do porównywania chipów maszyny do powlekania próżniowego

1) Stały cylinder 3 Konstrukcja o cylindrycznym kształcie, dużej średnicy, grubościennej konstrukcji i obwodowo symetrycznej metodzie mocowania może zapewnić wystarczającą wytrzymałość i sztywność, a jednocześnie może również zapobiegać zanieczyszczeniu wewnętrznych części ścierniwem rozpylającym w wysokiej temperaturze , aby zapewnić elastyczność obrotu tarczy 15 .

2) Konstrukcja okrągłego gniazda łożyska 2 zapewnia uszczelnienie i pionowość montażu gniazda łożyska; zwiększyć średnicę wału 1, zwiększyć odległość montażową między dwoma łożyskami w gnieździe łożyska 2, poprawić jego wytrzymałość i sztywność, zapewnić Sztywność wału 1 i elastyczność obrotowa tarczy 15 podczas procesu obracania są spójne z powtarzalnością pozycji.

3) Obciążenie mechanizmu transpozycji, poprzez rozszerzenie średnicy płyty nośnej 16, zwiększa efektywną powierzchnię mechanizmu w kierunku płaszczyzny i można zainstalować folię porównawczą o dużej średnicy (Φ26,5 mm), co sprzyja do regulacji toru optycznego i poprawy jakości folii optycznej; Element porównawczy 12 jest wykonany z jednego kawałka szkła jako jednostka porównawcza. Element porównawczy przyjmuje metodę przestrzennego trójwymiarowego układania w stos. Wiele kawałków szkła jest układanych w stos i instalowanych w cylindrze 13 do przechowywania porównań, tak że 50~100 kawałków porównawczych może być umieszczonych na raz, co rozwiązuje problem maszyny do powlekania. Powlekanie wielowarstwowych precyzyjnych folii optycznych, w porównaniu z problemem, że mała liczba arkuszy wpływa na liczbę warstw powlekania i dokładność.

4) Współpraca płyty pozycjonującej 6 i złącza optycznego typu szczelinowego 17, poprzez złącze optyczne typu szczelinowego, wykrywane są trzy równo podzielone 120-stopniowe szczeliny na płycie pozycjonującej, a obrót silnika jest kontrolowany w celu zatrzymania . Gwarantuje się powtarzanie spójności obrotu i pozycjonowania osi 1, a tarcza 15 jest napędzana w celu zakończenia dokładnego działania tarczy.

5) Obrotowy mechanizm podawania uszczelnienia jest wprowadzony do mechanizmu uszczelniającego 5 Wilsona, który nie tylko zapewnia, że ​​silnik 9 napędza elastyczny obrót wału 1 poprzez zazębienie przekładni, ale także zapewnia działanie uszczelniające komory próżniowej względem na zewnątrz. Zoptymalizowana konstrukcja wieloukładowego urządzenia do porównywania maszyny do powlekania próżniowego ma następujące cechy: (1) Prosta konstrukcja, wysoka wytrzymałość i dobra niezawodność; (2) Liczba układów porównawczych jest duża, wydajność produkcji jest poprawiona, a ultra-wielowarstwowa precyzyjna optyka może być powlekana (3) Zwiększona jest średnica folii porównawczej, poprawia się precyzja monitorowania folii, wymagania dotyczące systemu sprzętowego są zmniejszone, a system jest łatwy do zrealizowania automatycznej kontroli; (4) Koszt utrzymania jest niski.

Dzięki zoptymalizowanej konstrukcji wieloelementowego urządzenia porównawczego maszyny do powlekania próżniowego zapewniona jest elastyczność obrotu mechanizmu elementu porównawczego i spójność powtórzeń, a także niewielka efektywna powierzchnia elementu porównawczego, niewygodna regulacja tor optyczny i stosunek sygnału do szumu sygnału optycznego są rozwiązane. Rozwiązuje również problem mniejszego obciążenia arkuszy porównawczych, co może znacznie poprawić jakość folii optycznej powlekanej przez istniejącą maszynę do powlekania próżniowego, a folię optyczną z ponad 30 warstwami można powlekać. Praktyka dowiodła, że ​​ta porównawcza struktura arkusza jest użyteczna i może być promowana i wdrażana w nowoczesnym przemyśle optycznym powlekania próżniowego.