Wprowadzenie technologii powlekania przez odparowanie próżniowe

Technologia powlekania przez odparowanie próżniowe producentów maszyn do powlekania próżniowego obejmuje powlekanie oporowe, powlekanie przez odparowywanie wiązką elektronów, powlekanie przez odparowywanie wiązki laserowej, powlekanie przez nagrzewanie indukcyjne o wysokiej częstotliwości itp. Poniższa tabela zawiera charakterystykę kilku technologii powlekania wyparnego.

1. Poszycie parowania oporowego: Źródło parowania oporowego służy do odparowywania materiałów o niskiej temperaturze topnienia, takich jak złoto, srebro, siarczek cynku, fluorek magnezu, trójtlenek chromu itp. Źródła parowania oporowego są zwykle wykonane z wolframu, molibdenu i tantalu.

2. Powlekanie przez odparowanie wiązką elektronów: Po odparowaniu materiału folii i odparowaniu przez ogrzewanie wiązką elektronów, jest to ważna metoda ogrzewania w technologii odparowywania próżniowego w celu kondensacji i utworzenia filmu na powierzchni podłoża. Istnieje wiele rodzajów takich urządzeń. Wraz z szerokim zastosowaniem technologii cienkowarstwowej, nie tylko wymagania dotyczące rodzajów membran są różne, ale również wymagania dotyczące jakości membran są bardziej rygorystyczne. Parowanie oporowe nie spełnia już potrzeb parowania niektórych metali i niemetali. Źródło ciepła wiązki elektronów może uzyskać znacznie większą gęstość energii niż oporowe źródło ciepła, a wartość może osiągnąć 104-109w/cm2, dzięki czemu można nagrzać folię do 3000-6000c. Zapewnia to lepsze źródło ciepła do odparowywania metali ogniotrwałych i materiałów niemetalicznych, takich jak wolfram, molibden, german, SiO2, AI2O3 itp. Ponadto, ponieważ materiał do odparowania jest umieszczany w chłodzonym wodą tyglu, odparowanie materiału pojemnika i reakcji między materiałem pojemnika a materiałem folii można uniknąć, co jest niezwykle ważne dla poprawy czystości folii. Ponadto ciepło może być bezpośrednio dodawane do powierzchni materiału folii, dzięki czemu sprawność cieplna jest wysoka, a przewodzenie ciepła i straty promieniowania cieplnego są niewielkie.

3. Poszycie z nagrzewaniem indukcyjnym o wysokiej częstotliwości: metal jest podgrzewany do temperatury parowania na zasadzie nagrzewania indukcyjnego. Umieść tygiel zawierający materiał folii na środku spiralnej cewki (bezkontaktowo) i przepuść przez cewkę prąd o wysokiej częstotliwości, co może spowodować, że metalowa folia będzie generować prąd, aby się nagrzać, aż wyparuje.

Charakterystyka źródła parowania ogrzewania indukcyjnego: 1) Szybkość parowania jest duża 2) Temperatura źródła parowania jest jednolita i stabilna, a nie jest łatwo wytworzyć zjawisko rozpryskiwania kropli aluminium 3) Źródło parowania jest ładowane jednorazowo , nie jest wymagany mechanizm podawania drutu, regulacja temperatury jest stosunkowo łatwa, a obsługa prosta 4) W przypadku folii Wymagania dotyczące czystości materiału są nieco szersze.

4. Poszycie z odparowaniem nagrzewania łukowego: Metoda nagrzewania podobna do metody nagrzewania wiązką elektronów to metoda nagrzewania łukowego. Charakteryzuje się również unikaniem zanieczyszczenia oporowych materiałów grzewczych lub materiałów tyglowych, a temperatura ogrzewania jest wysoka, szczególnie odpowiednia do odparowywania metali ogniotrwałych, grafitu itp. o wysokiej temperaturze topnienia i pewnej przewodności. Jednocześnie sprzęt stosowany w tej metodzie jest prostszy od urządzenia grzejnego wiązką elektronów, jest więc stosunkowo niedrogim urządzeniem odparowującym.

5. Powlekanie przez odparowanie wiązki laserowej: Metoda użycia lasera impulsowego o dużej gęstości mocy do odparowania materiału w celu utworzenia cienkiej warstwy jest ogólnie nazywana odparowaniem laserowym