Maszyna do powlekania wirowego

Rozpylanie o średniej częstotliwości jest również rodzajem rozpylania magnetronowego.

Istnieje wiele rodzajów napylania magnetronowego, które można podzielić na napylanie magnetronowe DC, napylanie magnetronowe o częstotliwości radiowej i napylanie magnetronowe o średniej częstotliwości w zależności od zastosowanego źródła zasilania. Zasilacz stosowany w napylaniu magnetronowym DC to zasilacz wysokiego napięcia DC, zwykle 300-1000 V, który charakteryzuje się szybkim napylaniem, niskim kosztem i tanim utrzymaniem w późniejszym okresie. Jednak tylko cele metalowe mogą być napylane. Jeśli cel jest izolatorem, w miarę postępu napylania cel zgromadzi dużą ilość ładunku, co spowoduje niemożność kontynuowania napylania. Dlatego rozpylanie magnetronowe DC jest zwykle stosowane do celów metalowych. Ze względu na niski koszt i prostą konstrukcję znajduje szerokie zastosowanie w przemyśle. Częstotliwość zasilania RF stosowanego w napylaniu magnetronowym RF wynosi zwykle 13,56 MHz, co może rozwiązać problem polegający na tym, że napylanie magnetronowe DC nie może napylać celów izolacyjnych. Charakterystyka napylania magnetronowego RF to: zarówno cele izolacyjne, jak i cele metalowe mogą być rozpylane, a przyczepność między folią a podłożem jest silna. Jednak ze względu na złożoną konstrukcję i urządzenie, wysoką cenę zasilacza RF, wysokie koszty konserwacji, promieniowanie do ludzkiego ciała oraz potrzebę zewnętrznej sieci dopasowującej, nie nadaje się do produkcji przemysłowej. Napylanie magnetronowe o średniej częstotliwości jest często stosowane do reaktywnego napylania w celu przygotowania folii ze związków metali. Oprócz argonu do wnęki dodaje się niewielką ilość reaktywnych gazów, takich jak azot, tlen itp., aby osadzić cząsteczki tych reaktywnych gazów z atomami materiału docelowego. na podłoże, tworząc warstwę metaliczną. Ponieważ napylanie magnetronowe DC jest szeroko stosowane w przemyśle, stół do napylania magnetronowego zawiera system próżniowy, system powlekania napylającego, gaz i system sterowania.

Aplikacja

Parametr

Nasza firma

Popularne Tagi: spin powłoka maszyna, Chiny, dostawcy, producenci, fabryka, dostosowane, kupować, cena, cytat